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发明名称 Reaktionskammer mit eingebauter Gasverteilerplatte
摘要
申请公布号 DE69727536(D1) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 DE19976027536 申请日期 1997.11.25
申请人 SIEMENS AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK 发明人 ROITHNER, KLAUS;POSCHENRIEDER, BERNHARD;MULLER, KARL PAUL
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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