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发明名称 Vorrichtung zur Aufnahme eines optischen Elementes aus einem kristallinen Material während eines Aufdampfprozesses
摘要
申请公布号 DE50101469(D1) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 DE20015001469 申请日期 2001.12.07
申请人 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 发明人 HARTMAIER, DIPL.-PHYS.;KLAASSEN, DIPL.-ING.;BOEHM, DR.;WERGL, DR.;GERHARD, DR.;SPANUTH, DIPL.-PHYS.;KUSCHNEREIT, DR.;VOGT, ENTW.-ING.;BAUER, HARRY
分类号 C23C14/50;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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