发明名称 SYSTEM OF TRANSPORTING AND STORING CONTAINERS OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND TRANSFER MECHANISM
摘要 Système de transport et de stockage de conteneurs (1) de plaques de semi- conducteur, destiné à être utilisé dans une travée (2) d'une fabrique desdit es plaques, la travée comprenant un ou plusieurs outils (3, 4) de traitement de s plaques, les outils de traitement comportant respectivement une face avant ( 5, 6) munie d'au moins une ouverture (7) de chargement/déchargement des plaques apte à être associée à un conteneur (1) de plaques, l'ensemble des ouverture s de chargement/déchargement étant sensiblement compris dans un plan vertical (8), ladite travée étant alimentée en conteneurs par un transporteur de trav ée (9) situé au dessus des outils de traitement et parallèle au dit plan vertical, ledit système comprenant: des moyens de stockage (10) des conteneu rs dans un espace (11) situé au dessus desdits outils de traitement et en retra it vers l'arrière desdites ouvertures, des moyens de support temporaire (12) d' au moins un conteneur, saillant en face avant (5, 6) des outils de traitement, situés à l'aplomb du transporteur de travée apte à laisser libre l'espace si s au dessus desdites ouvertures, des premiers moyens de transfert (13) des conteneurs à partir des moyens de support temporaire vers le moyens de stockage, et inversement, des deuxièmes moyens de transfert (13) des conteneurs à partir des moyens de stockage vers lesdites ouvertures et inversement, des troisièmes moyens de transfert (13) des conteneurs à partir de moyens de support temporaire vers lesdites ouvertures, et inversement. L'invention se rapporte en outre à un mécanisme de transfert (13).
申请公布号 CA2497310(A1) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 CA20032497310 申请日期 2003.09.05
申请人 RECIF 发明人 LERO, CHRISTOPHE;POLI, BERNARD;GAUDON, BERNARD;HADDAD, FLORENT
分类号 B65G1/04;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G1/04
代理机构 代理人
主权项
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