发明名称 Vertikale Transistoranordnung mit einem flexiblen, aus Kunststofffolien bestehenden Substrat und Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE10142913(B4) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 DE2001142913 申请日期 2001.08.27
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH 发明人 KOENENKAMP, ROLF;CHEN, JIE
分类号 H01L21/28;H01L21/00;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/772;H01L29/786;H01L29/812;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/786;H01L21/335 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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