发明名称 |
Vertikale Transistoranordnung mit einem flexiblen, aus Kunststofffolien bestehenden Substrat und Verfahren zu deren Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10142913(B4) |
申请公布日期 |
2004.03.18 |
申请号 |
DE2001142913 |
申请日期 |
2001.08.27 |
申请人 |
HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH |
发明人 |
KOENENKAMP, ROLF;CHEN, JIE |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/00;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/772;H01L29/786;H01L29/812;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/786;H01L21/335 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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