METHOD FOR THE PRODUCTION OF A FIXED CONNECTION BETWEEN TWO LAYERS OF A MULTILAYER SYSTEM, AND MULTILAYER SYSTEM

摘要

Um bei einem Mehrschichtensystem, z. B. einem Sensor, zwei nur bedingt aneinander haftende Schichten (2, 6), z. B. zwei Funktionalschichten eines Sensors, fest miteinander zu verbinden, ohne die Funktionalität des Mehrschichtensystems einzuschränken, ist auf die erste Schicht (2) eine die Funktionalität nicht beeinträchtigende aber gut anhaftende Zwischenschicht (1), vorzugsweise ein Dielektrikum, aufgebracht, an die sich die zweite Schicht (6) anschliesst. In die Zwischenschicht (1) und die zweite Schicht (6) sind vorzugsweise konische Anker (9) eingebettet, welche die Zwischenschicht (1) und die zweite Schicht (6) verzahnend miteinander verbinden. Beispielsweise werden in die Zwischenschicht (1) in einem Ätz- oder Fotoprozess vorzugsweise konische Kontaktlöcher (3) eingeprägt, welche mit einer Haftmasse (4) gefüllt werden. Die Zwischenschicht (1) wird bis auf eine Mindeststärke in einem Ätzoder Fotoprozess abgetragen, so dass von den Kontaktlöchern (3) geformte Anker (9) aus der Haftmasse (4) aus der Zwischenschicht (1) ragen. Auf die Zwischenschicht (1) mit den herausragenden Ankern (9) wird die zweite Schicht (6) aufgetragen, so dass die Anker (9) auch in die zweite Schicht (6) eingebettet sind und auf diese Weise die Zwischenschicht (1) fest mit der zweiten Schicht (6) verbunden ist.