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发明名称 Einrichtung zum Ver- und Entriegeln einer Tür eines Behälters
摘要
申请公布号 DE59610912(D1) 申请公布日期 2004.03.18
申请号 DE19965010912 申请日期 1996.04.16
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 SCHELER, WERNER;SCHUBERT, KARL;MAGES, ANDREAS;ANTON, ANDREAS
分类号 H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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