发明名称 | 用于磁控管等离子体产生装置的双面簇射头电极 | ||
摘要 | 提供一种在等离子体增强化学汽相淀积涂敷装置中的电极,可以提高等离子体产生涂层的效率和质量。该电极包括双簇射头面(11,11’),并在优选方式中含有多个磁铁(13),多个磁铁排列成使磁铁的磁极面向相同方向,由此产生用于每套磁铁的两个磁控管表面。 | ||
申请公布号 | CN1142577C | 申请公布日期 | 2004.03.17 |
申请号 | CN98809766.4 | 申请日期 | 1998.09.28 |
申请人 | 陶氏化学公司;都市线路路面公司 | 发明人 | 胡应锋;杰弗里·R·戴克-豪斯 |
分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王以平 |
主权项 | 1.一种用于磁控管等离子体产生装置的具有簇射头结构的电极,其中簇射头包含带有管道的平面,所述管道用于使气体流通过,还包含设置有一个或多个磁铁的内部空间,气体可以被引导穿过内部空间,并流入管道,还包含用于引入气体的装置,用于将气体反应物引入内部空间并穿过平面,其特征在于,簇射头具有两个平行的平面状的面板,每个平面状的面板具有作为管道的多个孔,以及用于支撑所述面板的支撑装置,从而形成内部空间,在内部空间中设置有一个或多个磁铁,并且气体流过内部空间,其中面板、磁铁和支撑装置相互电绝缘,用于引入气体的装置使得气体流通过每个孔时流速相同,还包含对所述两个面板或其中之一提供电源的电气装置,除了多个孔和用于引入气体的所述装置以外,内部空间实质上是气密的,并且磁铁垂直于簇射头面板设置,使所有北极面向上侧面板,所有南极面向下侧面板。 | ||
地址 | 美国密执安州 |