有机EL元件的制造方法及装置

摘要

本发明涉及有机EL元件的制造方法及装置。本发明的有机EL元件的蒸镀方法为：气化蒸发源中的有机EL材料、使其堆积在成膜用基板(4)上形成薄膜进行有机EL薄膜蒸镀，其中使用的有机EL元件蒸镀装置是，在成膜用基板面以外该有机材料析出的室或闸门(5)、(6)等部件的材质是不使该有机材料变质的惰性材质。根据本发明，可以改善有机EL元件性能，未利用的有机EL材料容易再生使用。

主权项

1.一种有机EL元件的制造方法，在气化有机EL元件用的有机材料、使其堆积在成膜用基板上形成薄膜的有机EL薄膜蒸镀中，其特征为，在基板面以外前述有机材料堆积的装置内壁面及装置内部设置的部件制成相对于前述有机材料的惰性材质，进行有机EL薄膜蒸镀。