在晶圆上监控重叠对准的方法

摘要

一种在晶圆上监控重叠对准的方法，此方法包括下列步骤：辨识目标机器；辨识目标程序；辨识复数个关键层；从晶圆上至少一指定定位图案中，获得复数个重叠数据当成基准数据；提供复数个参考重叠数据；将复数个参考重叠数据与基准数据建立关联，以获得重叠误差；将重叠误差与目标机器的规格互相比较；当重叠误差在目标机器的规格容许范围内时，接受基准数据，并且以基准数据监控重叠对准。

主权项

1.一种在晶圆上监控重叠对准的方法，其特征是，该方法包括：辨识一目标机器；辨识一目标程序；辨识复数个关键层；从一晶圆上至少一指定定位图案中，获得复数个重叠数据当成一基准数据；提供复数个参考重叠数据；将该些参考重叠数据与该基准数据建立关联，以获得一重叠误差；将该重叠误差与该目标机器的复数个规格互相比较；当该重叠误差在该些规格容许范围内时，接受该基准数据；以及以该基准数据执行监控重叠对准。