| 发明名称 |
SMALL SIZE, HIGH CAPACITANCE READOUT SILICON BASED MEMS ACCELEROMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1397692(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.17 |
| 申请号 |
EP20020725518 |
申请日期 |
2002.04.05 |
| 申请人 |
HONEYWELL INTERNATIONAL INC. |
发明人 |
LEONARDSON, RONALD |
| 分类号 |
G01L1/14;G01L5/16;G01P15/00;G01P15/125;G01P15/13;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/125 |
主分类号 |
G01L1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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