发明名称 半导体制造用排气环
摘要 左视图与右视图相对称,省略左视图。
申请公布号 CN3357043D 申请公布日期 2004.03.17
申请号 CN03352204.9 申请日期 2003.06.11
申请人 东京毅力科创株式会社 发明人 手塚一幸;北泽贵;纲仓纪彦;小泉浩
分类号 08-08 主分类号 08-08
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 龙淳
主权项
地址 日本国东京都