发明名称 |
PLACING DEVICE AND METHOD FOR PLACING OBJECTS ONTO SUBSTRATES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1397948(A1) |
申请公布日期 |
2004.03.17 |
申请号 |
EP20020750785 |
申请日期 |
2002.06.12 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
DUEBEL, RAINER |
分类号 |
H01L21/52;H05K13/04;(IPC1-7):H05K13/04 |
主分类号 |
H01L21/52 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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