发明名称 PLACING DEVICE AND METHOD FOR PLACING OBJECTS ONTO SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1397948(A1) 申请公布日期 2004.03.17
申请号 EP20020750785 申请日期 2002.06.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DUEBEL, RAINER
分类号 H01L21/52;H05K13/04;(IPC1-7):H05K13/04 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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