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发明名称 Optical apparatus
摘要
申请公布号 EP1306665(A3) 申请公布日期 2004.03.17
申请号 EP20020257415 申请日期 2002.10.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MASAKI, FUMITARO;MIYAKE, AKIRA
分类号 G01N23/227;G01N21/01;G01N21/21;G01N21/33;G01N21/47;G01N23/20;G02B5/18;G02B5/30;G02B27/28;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
主权项
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