发明名称 真空泵及其启动方法
摘要 本发明有关一种真空泵及启动真空泵之方法。该真空泵包含泵浦转子(1),该泵浦转子(1)可旋转地设置在一外壳(2)中;及泵浦转子控制器(15),该泵浦转子控制器(15)用于按照预定模式而在启动该真空泵时控制该泵浦转子(1)于正转方向或反转方向中之旋转。
申请公布号 TW200404124 申请公布日期 2004.03.16
申请号 TW092122710 申请日期 2003.08.19
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 饭岛直树;渡二郎;千野宏之;柳泽清司;川村毅
分类号 F04C25/00;F04C29/10 主分类号 F04C25/00
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本