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<P>Système de transport et de stockage de conteneurs (1) de plaques de semiconducteur, destiné à être utilisé dans une travée (2) d'une fabrique desdites plaques, la travée comprenant un ou plusieurs outils (3, 4) de traitement des plaques, les outils de traitement comportant respectivement une face avant (5, 6) munie d'au moins une ouverture (7) de chargement/déchargement des plaques apte à être associée à un conteneur (1) de plaques, l'ensemble des ouvertures de chargement/déchargement étant sensiblement compris dans un plan vertical (8), ladite travée étant alimentée en conteneurs par un transporteur de travée (9) situé au dessus des outils de traitement et parallèle au dit plan vertical, ledit système comprenant :- des moyens de stockage (10) des conteneurs dans un espace (11) situé au dessus desdits outils de traitement et en retrait vers l'arrière desdites ouvertures,- des moyens de support temporaire (12) d'au moins un conteneur, saillant en face avant (5, 6) des outils de traitement, situés à l'aplomb du transporteur de travée apte à laisser libre l'espace sis au dessus desdites ouvertures,- des premiers moyens de transfert (13) des conteneurs à partir des moyens de support temporaire vers les moyens de stockage, et inversement,- des deuxièmes moyens de transfert (13) des conteneurs à partir des moyens de stockage vers lesdites ouvertures et inversement,- des troisièmes moyens de transfert (13) des conteneurs à partir des moyens de support temporaire vers lesdites ouvertures, et inversement.L'invention se rapporte en outre à un mécanisme de transfert (13).</P>
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