| 主权项 |
1.一种具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,是可定位一具有一定位面的半导体元件,该真空吸持装置包含:一基座,具有一开放端、一沿一轴向而相反于该开放端的封闭端、一沿该轴向而从该开放端朝该封闭端延伸形成的第一容室,及一沿该轴向而从该开放端朝该封闭端延伸形成的第二容室,该半导体元件是可置放于该开放端上;一静态液压支撑元件,是可被挤压变形,该静态液压支撑元件具有一囊袋,及一充填于该囊袋内的液体,该静态液压支撑元件是可置入该第一、二容室的其中一者内,以使该囊袋形成一朝向该开放端的支撑面,该支撑面是可朝该开放端支撑该定位面的一部份;一真空吸引源,是与该第一、二容室的另一者连接,而可朝该封闭端吸引该定位面的其他部份。2.依据申请专利范围第1项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,其中,该基座更具有一概沿该轴向而从该封闭端朝该开放端围绕设置的内环壁,及一概沿该轴向而从该封闭端朝该开放端围绕设置且环绕该内环壁的外环壁,该内环壁的内周面与该封闭端配合可界定形成该第一容室,该内环壁的外周面、该外环壁的内周面与该封闭端配合可界定形成该第二容室,且,该静态液压支撑元件是容置于该第一容室内,该真空吸引源是与该第二容室连接。3.依据申请专利范围第2项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一第一辅助液压支撑元件,该第一辅助液压支撑元件是设置于该静态液压支撑元件与该封闭端之间。4.依据申请专利范围第3项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一第二辅助液压支撑元件,该第二辅助液压支撑元件是设置于第一辅助液压支撑元件与该封闭端之间。5.依据申请专利范围第4项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一装设于该基座上的调整单元,该调整单元是可推抵该第一、二辅助液压支撑元件的其中一者,以调整改变该支撑面与该封闭端之间的相对距离。6.依据申请专利范围第3项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一第一夹板,该第一夹板是夹设于该静态液压支撑元件与该第一辅助液压支撑元件之间。7.依据申请专利范围第4项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一第二夹板,该第二夹板是夹设于该第一、二辅助液压支撑元件之间。8.依据申请专利范围第2项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,更包含一支撑环,该支撑环的内孔径是界于该内环壁的外周径与该外环壁的内周径之间,且,该支撑环的外环缘是可拆卸地装设于该外环壁的开放端上,该支撑环的内环缘是可供该半导体元件置放。9.依据申请专利范围第1项所述之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置,其中,该囊袋更具有数连接点,该囊袋的支撑面与该囊袋朝向该封闭端的另一面在该等连接点的对应位置处是互相连接在一起。图式简单说明:第一图是本发明之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置一第一较佳实施例与一晶圆的分解剖视图;第二图是该第一较佳实施例的一静态液压支撑元件的立体外观示意图;第三图是该第一较佳实施例的使用示意图;第四图是本发明之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置一第二较佳实施例的使用示意图;第五图是本发明之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置一第三较佳实施例的使用示意图;及第六图是本发明之具有静态液压支撑元件的真空吸持装置一第四较佳实施例的使用示意图。 |
