| 主权项 |
1.一种电激发光显示装置之制造方法,系将基板及配置于该基板下方的遮罩予以定位,且藉由上述遮罩将电激发光元件材料附着形成于上述基板,以形成显示装置之显示部的电激发光显示装置制造方法,其中,以吸着支持上述基板上面,进行上述定位操作者。2.如申请专利范围第1项记载之电激发光显示装置之制造方法,其中,系将上述遮罩预先固定于配置在保持台上之遮罩框,同时,于该保持台及遮罩框之至少一方形成支持上述基板之销,且系以该销支承基板的状态,进行上述定位操作者。3.如申请专利范围第2项记载之电激发光显示装置之制造方法,其中,系将上述销作成能于垂直方向伸缩自如者。4.如申请专利范围第1项之电激发光显示装置之制造方法,其中,系于基板的3个以上的边吸着支承,以藉由各边之边支承机构形成支承形态,以进行上述定位操作者。5.如申请专利范围第1.2.3或4项中任何一项记载之电激发光显示装置之制造方法,其中,至少系于真空容器内进行上述定位操作者。6.如申请专利范围第5项记载之电激发光显示装置之制造方法,其中,上述吸着支承系以静电吸着方式进行者。图式简单说明:第1图为主动矩阵式EL显示装置的俯视平面图。第2a图为表示主动矩阵式EL显示装置一部份剖面构造之剖面图(a)。第2b图系表示主动矩阵式EL显示装置一部份剖面构造之剖面图(b)。第3图系表示有关本发明EL显示装置制造方法中第1实施形态之制序的流程图。第4图系表示于上述实施形态中之真空匣内的遮罩与玻璃基板之定位态样斜视图。第5a图系表示于上述实施形态中之遮罩与玻璃基板的配置态样平面图(a)。第5b图系表示于上述实施形态中之遮罩与玻璃基板的配置态样平面图(b)。第6图系位于模式表示上述实施形态中之EL元件蒸涂形成态样之侧面图。第7a图至第7c图为说明玻璃基板尺寸及支持态样与产生于上述玻璃基板挠曲之关系图。第8图以模式表示上述实施形态中之玻璃基板支持态样的剖面图。第9图系表示有关本发明EL显示装置制造方法中第2实施形态之玻璃基板支持态样的剖面图。第10图系表示有关本发明EL显示装置制造方法中第3实施形态之玻璃基板支持态样的斜视图。第11图系表示上述实施形态中之EL元件蒸涂形成制序的流程图。第12图系表示上述各实施形态变形例的玻璃基板支持态样平面图。 |
