发明名称 接合工具
摘要 一种接合工具,包含一第一筒形段,具有一实质上呈均一之第一直径,及一第二筒形段,具有一实质上呈均一之第二直径且小于第一直径。第二筒形段系联结于第一筒形段之一端,且具有一沿着第二段至少一部分长度之平坦区。
申请公布号 TW579550 申请公布日期 2004.03.11
申请号 TW091107082 申请日期 2002.04.09
申请人 库力克及索发投资公司 发明人 艾米尔 米勒;吉尔 波尔堡
分类号 H01L21/304;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种接合工具,用于接合一细线至一基板,接合工 具包含: 一第一筒形段,具有一实质上呈均一之第一直径; 及 一第二筒形段,具有一第一端以联结于第一筒形段 之一端,第二筒形段具有i)一实质上呈均一之第二 直径且小于第一直径及ii)一沿着第二段至少一部 分长度之平坦区。2.如申请专利范围第1项之接合 工具,其中平坦区系第二筒形段相对立侧上之二实 质上呈相互平行之平坦区。3.如申请专利范围第1 项之接合工具,进一步包含一第三段具有一第一预 定锥度,第三段之一第一端联结于第二筒形段之一 第二端。4.如申请专利范围第3项之接合工具,其中 第一预定锥度具有一在大约17与31度之间之角度 。5.如申请专利范围第3项之接合工具,其中第三段 具有一进一步锥形段,其具有一第二预定锥度,进 一步锥形段系以其一第二端联结于第三段。6.如 申请专利范围第5项之接合工具,其中第一预定锥 度具有一大约20之角度,且第二预定锥度具有一大 约10之角度。7.如申请专利范围第1项之接合工具, 进一步包含一轴向通道沿着接合工具之一纵轴线 而自接合工具之一第一端延伸至接合工具之一第 二端。8.如申请专利范围第7项之接合工具,其中轴 向通道具有一第一直径于第一筒形段之第一端及 一第二直径于第一锥形段之一顶端,第一直径大于 第二直径。9.如申请专利范围第1项之接合工具,进 一步包含一过渡段联结于第一筒形段与第二筒形 段之间。10.如申请专利范围第9项之接合工具,其 中过渡段系一锥形段与一弧形段其中一者。11.如 申请专利范围第1项之接合工具,其中接合工具系 由氧化铝、氮化矽、碳化矽、碳化钨、红宝石、 陶质材料及氧化铝组成族群中至少一者构成。12. 如申请专利范围第1项之接合工具,其中第二筒形 段之第一端系在相距于接合工具之一顶端呈一预 定距离处。13.如申请专利范围第12项之接合工具, 其中该距离系在大约0.200与0.279寸(5.08与7.0866毫米) 之间。14.如申请专利范围第1项之接合工具,其中 接合工具系由一单件材料构成。15.一种接合工具, 用于接合一细线至一基板,接合工具包含: 一第一筒形段,具有一实质上呈均一之第一直径; 一第二筒形段,具有一第一端以联结于第一筒形段 之一端,第二筒形段具有i)一直径且实质上相等于 第一筒形段之第一直径及ii)一沿着第二段至少一 部分长度之平坦区;及 一第三段,具有一第一预定锥度,第三段之一第一 端联结于第二筒形段之一端。16.如申请专利范围 第15项之接合工具,其中平坦区系第二段相对立侧 上之二实质上呈相互平行之平坦区。17.如申请专 利范围第16项之接合工具,其中平坦面之间之一距 离系在大约0.0345与0.0625寸(0.8763与1.5875毫米)之间 。18.如申请专利范围第15项之接合工具,其中平坦 区延伸至一部分第三段上。19.如申请专利范围第 15项之接合工具,其中第一预定锥度具有一在大约 17与31度之间之角度。20.如申请专利范围第15项 之接合工具,其中锥形段具有一进一步锥形段,其 具有一第二预定锥度,进一步锥形段系以其一第二 端联结于第三段。21.如申请专利范围第20项之接 合工具,其中第一预定锥度具有一大约20之角度, 且第二预定锥度具有一大约10之角度。22.如申请 专利范围第15项之接合工具,进一步包含一轴向通 道沿着接合工具之一纵轴线而自接合工具之一第 一端延伸至接合工具之一第二端。23.如申请专利 范围第22项之接合工具,其中轴向通道具有一第一 直径于第一筒形段之第一端及一第二直径于锥形 段之一顶端,第一直径大于第二直径。24.如申请专 利范围第15项之接合工具,其中第二筒形段之第一 端系在相距于接合工具之一端呈一预定距离处。 25.如申请专利范围第24项之接合工具,其中该距离 系在大约0.200与0.279寸(5.08与7.0866毫米)之间。26.如 申请专利范围第15项之接合工具,其中接合工具系 由一单件材料构成。27.一种接合工具,用于一转换 器,接合工具包含: 一第一筒形段,具有一实质上呈均一之第一直径; 一第二筒形段,具有一第一端以联结于第一筒形段 之一端,第二筒形段具有i)一实质上呈均一之第二 直径且小于第一直径及ii)一沿着第二段至少一部 分长度之平坦区;及 一导引件,系设于第一筒形段之一第一端,其中导 引件将接合工具定位于转换器内。28.如申请专利 范围第27项之接合工具,其中导引件系一平坦部及 一沿着第一筒形段之一上部而形成之细孔其中一 者。图式简单说明: 图1系一习知接合工具之侧视图; 图2说明相关于转换器运动之接合工具反应; 图3A-3H系本发明第一举例实施例之一接合工具之 不同视图; 图4A-4E系本发明第二举例实施例之一接合工具之 不同视图; 图5系图表,绘示针对本发明举例实施例之一接合 工具之超音波能量作用; 图6系图表,绘示针对本发明举例实施例之一接合 工具之超音波能量对共振频率; 图7系图表,绘示针对本发明举例实施例之一接合 工具之毛细管位移; 图8说明一备有超音波转换器之举例接合工具之相 互关系; 图9A-9F说明在超音波转换器内定向一举例接合工 具之举例方式; 图10A-10D及11A-11E说明相关于与图9A-9F所示接合工具 匹配之一超音波转换器之细部结构; 图12A-12C系本发明第三举例实施例之一接合工具之 不同视图;及 图13A-13D系本发明第四举例实施例之一接合工具之 不同视图。
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