| 主权项 |
1.一种静电加速器,用以加速或减速带电粒子,其包 含: 复数个电极,配置在带电粒子的行进方向上; 其中至少该等电极的其中之一系分割为两个电极 体,其系在带电粒子的路径上互相面对,并且其中 不同的电位系施加于该两电极体使得该带电粒子 偏向。2.如申请专利范围第1项之静电加速器,其中 ,电极系配置于分割为两个电极体的该电极的下游 侧,并且其中该电极系配置于具有所预期的能量的 该偏向带电粒子的轨道上。3.一种静电加速器,用 以加速或减速带电粒子,其包含: 复数个电极,配置在该带电粒子的行进方向上,该 复数个电极自一上游侧起依序包含第一电极、第 二电极以及第三电极的这三个电极; 其中该第二电极系分割成两个电极体,其系在该带 电粒子的路径上互相面对,并且其中不同的电位系 施加于该两电极体使得该带电粒子偏向,并且其中 该第三电极系设置于具有所预期的能量之该偏移 带电粒子的一轨道上。4.如申请专利范围第3项之 静电加速器,其中,该等电极体的形状系根据具有 所预期的能量之该偏移带电粒子的轨道来形成。5 .如申请专利范围第3项之静电加速器,其中,该第三 电极系配置在具有所预期的能量之该偏移带电粒 子的轨道上,并且其中该带电粒子系偏移超过15度 。6.如申请专利范围第1项之静电加速器,其中,施 加至偏移带正电粒子的该等电极体的其中之一的 电位,系小于施加至其它电极体之电位。7.如申请 专利范围第3项之静电加速器,其中,施加至偏移带 正电粒子的该等电极体之其中之一的电位,系小于 施加至其它电极体之电位。8.一种将离子植入一 基材的离子植入装置,其包含: 一静电加速器,用以加速与减速带电粒子,包含复 数个配置于带电粒子的一行进方向上的电极; 其中该等电极的至少其中之一系分割成两个电极 体,其系在离子的路径上互相面对,并且其中不同 的电位系施加于其上使得带电粒子偏移。9.一种 将离子植入一基材的离子植入装置,其包含: 一静电加速器,用以加速与减速带电粒子,包含复 数个配置于带电粒子的一行进方向上的电极,该复 数个电极自一上游侧起依序包含第一电极、第二 电极与第三电极之三个电极; 其中该第二电极系分割成两电极体,其系在该带电 粒子之一路径上互相面对,并且其中不同的电位系 施加于该两电极体,使得带电粒子偏移,并且其中 该第三电极系配置在具有所预期的能量的该偏移 带电粒子的一轨道上。图式简单说明: 图1系为显示根据本发明之静电加速管之一范例的 横向截面图; 图2系为沿图1之线段A-A之纵向截面图; 图3系为沿图1之线段B-B之纵向截面图; 图4系为具有根据本发明之静电加速管之离子植入 装置之一范例之示意图;以及 图5系为具有习知静电加速管之离子植入装置之一 范例之示意图。 |
