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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PREDICTING DEVICE ELECTRICAL PARAMETERS DURING FABRICATION
摘要
申请公布号 AU2003261127(A1) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 AU20030261127 申请日期 2003.07.09
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 CHRISTOPHER, A. BODE;MICHAEL, L. MILLER
分类号 H01L21/00;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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