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发明名称 Anordnung elektronischer Halbleiterbauelemente auf einem Trägersystem zur Behandlung der Halbleiterbauelemente mit einem flüssigen Medium
摘要
申请公布号 DE20318462(U1) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 DE20032018462U 申请日期 2003.11.26
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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