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In einer Produktionslinie umfassen eine Cluster-Anlage mit mehreren im Wesentlichen identischen Prozessmodulen und eine Messanlage eine Steuerungseinheit, die es ermöglicht, Prozessinformation zu empfangen, zu speichern und bereitzustellen, die angibt, in welchem Prozessmodul welches Substrat prozessiert wurde und die auf der Grundlage der Prozessinformation auswählt, welches Substrat einer Messung zu unterziehen ist. Vorteilhafterweise werden die Substrate so ausgewählt, dass jedes Prozessmodul durch ein entsprechendes zu messendes Substrat repräsentiert ist, um damit in zuverlässiger Weise die Prozessqualität jedes Prozessmoduls zu überwachen.
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