发明名称 Self-aligned contacts to gates
摘要
申请公布号 AU2003260060(A8) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 AU20030260060 申请日期 2003.08.21
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 MARK BOHR
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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