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发明名称 METHOD OF PRODUCING SILICON MONOCRYSTAL
摘要
申请公布号 AU2003290909(A1) 申请公布日期 2004.03.11
申请号 AU20030290909 申请日期 2003.07.07
申请人 SUMITOMO MITSUBISHI SILICON CORPORATION 发明人 DAISUKE WAKABAYASHI;MASAO SAITO;SATOSHI SATO;JUN FURUKAWA;KOUNOSUKE KITAMURA
分类号 C30B15/00;C30B15/22;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06;C30B15/26;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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