发明名称 THIN FILMS AND PRODUCTION METHODS THEREOF
摘要
申请公布号 EP1396022(A2) 申请公布日期 2004.03.10
申请号 EP20020749531 申请日期 2002.05.20
申请人 REVEO, INC. 发明人 FARIS, SADEG, M.
分类号 H01L21/02;B81C1/00;(IPC1-7):H01L25/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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