| 发明名称 |
Electrostatic chuck, susceptor and method for fabrication |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2375889(B) |
申请公布日期 |
2004.03.10 |
| 申请号 |
GB20020015883 |
申请日期 |
2000.12.05 |
| 申请人 |
* SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. |
发明人 |
RAMESH * DIVAKAR;MORTEZA * ZANDI |
| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
