| 发明名称 | 化学增强的抗蚀组合物 | ||
| 摘要 | 在化学增强抗蚀剂中使用了共聚物和三元共聚物。该三元共聚物具有下述通式(II)，其中R<SUB>3</SUB>、R<SUB>4</SUB>、R<SUB>5</SUB>、R<SUB>6</SUB>、m和n的定义如说明书中所述；同时还有一用于化学增强的抗蚀剂的抗蚀组合物，它含有一光敏酸发生剂和一具有下述通式(III)的聚合物，其中x、R<SUB>7</SUB>、R<SUB>8</SUB>、m和n的定义如说明书中所述。∴ | ||
| 申请公布号 | CN1141619C | 申请公布日期 | 2004.03.10 |
| 申请号 | CN97122568.0 | 申请日期 | 1997.10.11 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 姜律;崔相俊;郑东垣;朴春根;高永范 |
| 分类号 | G03F7/039 | 主分类号 | G03F7/039 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄益芬 |
| 主权项 | 1.一种用于化学增强抗蚀剂的共聚物，该共聚物具有通式：<img file="C9712256800021.GIF" wi="382" he="475" />其中R<sub>1</sub>选自氢和C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>脂族烃基，该脂族烃基含有选自氢，羟基，羧基，酸酐和它们组合的取代基；R<sub>2</sub>选自氢和C<sub>1</sub>至C<sub>10</sub>脂族烃基，该脂族烃基含有选自氢，羟基，羧基，酸酐和它们组合的取代基；n代表整数；该共聚物的重均分子量为3000至100000。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||