发明名称 |
Apparatus and methods for modulation of a light beam |
摘要 |
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申请公布号 |
IES20030888(A2) |
申请公布日期 |
2004.03.10 |
申请号 |
IES20030888 |
申请日期 |
2003.11.27 |
申请人 |
OPTICAL METROLOGY PATENTS LIMITED |
发明人 |
PATRICK VINCENT KELLY |
分类号 |
G01J3/28;G01N21/55;G02F1/11;(IPC1-7):G02F1/11 |
主分类号 |
G01J3/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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