支撑装置与其制造方法、载置台装置以及曝光装置

摘要

包括填充有所定压力的气体且利用气体支撑物体PL的第1气体室(61)、支撑第1气体室(61)的支撑框架(8d)，具有设于支撑框架(8d)内且与第1气体室(61)连通的第2气体室(63)，可不招致装置的大型化而具有低刚性的空气弹簧的功能。

主权项

1.一种支撑装置，包括：填充有所定压力的气体并利用前述气体对物体进行支撑的第1气体室、支撑前述第1气体室的支撑框架，其特征在于具有设于前述支撑框架内并与前述第1气体室连通的第2气体室。