发明名称 | 生产聚合物光波导管的方法 | ||
摘要 | 一种生产聚合物光波导管的方法,它包括:(a)在基片形成下覆盖层的步骤;(b)在下覆盖层上形成含有1,4-二氢吡啶衍生物及树脂的光敏树脂组合物层的步骤;(c)用紫外光通过掩模照射相应于芯图形的光敏树脂组合物层的区域而在该光敏树脂组合物层上形成紫外光曝光区域和紫外光未曝光区域的步骤;(d)加热光敏树脂组合物层的紫外光曝光区域和紫外光未曝光区域的步骤;(e)加热之后在光敏树脂组合物层上形成上覆盖层的步骤。 | ||
申请公布号 | CN1480749A | 申请公布日期 | 2004.03.10 |
申请号 | CN03145876.9 | 申请日期 | 2003.07.17 |
申请人 | 日东电工株式会社 | 发明人 | 内藤龙介;望月周;宗和范;贞瀬直树;福冈孝博 |
分类号 | G02B6/13;G03F7/00 | 主分类号 | G02B6/13 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 黄益芬;巫肖南 |
主权项 | 1.一种生产聚合物光波导管的方法,它包括:(a)在基片上形成下覆盖层的步骤;(b)在下覆盖层上形成含有1,4-二氢吡啶衍生物及树脂的光敏树脂组合物层的步骤;(c)用紫外光通过掩模照射相应于芯图形的光敏树脂组合物层区域而在该光敏树脂组合物层上形成紫外光曝光区域和紫外光未曝光区域的步骤;(d)加热光敏树脂组合物层的紫外光曝光区域和紫外光未曝光区域的步骤;(e)加热之后在光敏树脂组合物层上形成上覆盖层的步骤。 | ||
地址 | 日本大阪府 |