发明名称 | 形成液晶显示器件的金属线的方法 | ||
摘要 | 形成液晶显示器件的金属线的方法。一种形成LCD器件的线的方法包括:在玻璃基板上依次淀积第一和第二金属层;在第二金属层上形成掩模图形;利用掩模图形在第一和第二金属层上使用混合酸溶液作蚀刻剂进行第一湿法蚀刻工艺;利用掩模图形进行第二湿法蚀刻工艺。 | ||
申请公布号 | CN1480779A | 申请公布日期 | 2004.03.10 |
申请号 | CN03149624.5 | 申请日期 | 2003.08.01 |
申请人 | LG.飞利浦LCD有限公司 | 发明人 | 李亨赞;郑炳和 |
分类号 | G02F1/1343;H01L21/00 | 主分类号 | G02F1/1343 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
主权项 | 1.一种形成LCD器件的线的方法,包括:在玻璃基板上依次淀积第一和第二金属层;在第二金属层上形成掩模图形;使用混合酸溶液作蚀刻剂,在第一和第二金属层上利用掩模图形进行第一湿法蚀刻工艺;和使用掩模图形进行第二湿法蚀刻工艺。 | ||
地址 | 韩国汉城 |