发明名称 TEMPERATURE-RESPONSIVE MOBILE SHIELDING DEVICE BETWEEN A GETTER PUMP AND A MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 EP1045990(B1) 申请公布日期 2004.03.10
申请号 EP19990954344 申请日期 1999.10.19
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 MORAJA, MARCO;VIALE, LUCA
分类号 F04B37/02;(IPC1-7):F04B37/02 主分类号 F04B37/02
代理机构 代理人
主权项
地址