发明名称 |
一种DH-Ga<SUB>1</SUB>-<SUB>x</SUB>Al<SUB>x</SUB>AsLED液相外延材料的结构 |
摘要 |
本发明属于半导体光电子材料制备领域,涉及一种对DH-Ga<SUB>1-X</SUB>Al<SUB>X</SUB>AsLED液相外延材料结构的改进。它包括衬底(4)、限定层(3)、发光层(2)、窗口层(1),统一考虑发光效率和制管工艺成品率,发光效率高、液相外延工艺又能实现、还为后道制管工艺创造有利条件、保证了成品率。本发明生产的外延片结构表面光亮,凸状畸变明显变小,经超声打孔技术测量,其发光强度一般为10-12mcd/20mA,制管成品率达70%。 |
申请公布号 |
CN1141741C |
申请公布日期 |
2004.03.10 |
申请号 |
CN00103908.3 |
申请日期 |
2000.02.29 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
元金山;张富文;李向文 |
分类号 |
H01L33/00;H05B33/00;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L33/00 |
代理机构 |
长春科宇专利代理有限责任公司 |
代理人 |
梁爱荣 |
主权项 |
1、一种DH-Ga1-XAlXAsLED液相外延材料的结构,它包括衬底(4),其特征在于:在衬底(4)上首先液相外延限定层(3),其次外延发光层(2),最后外延窗口层(1),衬底(4)的厚度为:300-400μm、铝Al组份为:0、载流子浓度为:1×1019cm-3;限定层(3)的生长厚度为:10-15μm、铝Al组份为:0.70-0.77、载流子浓度为(1-2)×1018cm-3;发光层(2)的生长厚度为:1.0-2.0μm、铝Al组份为:0.40-0.44、载流子浓度为:(3-7)×1017cm-3;窗口层(1)生长厚度为:15-25μm、铝Al组份为:0.70-0.75、载流子浓度为:(0.7-1)×1018cm-3。 |
地址 |
130022吉林省长春市人民大街140号 |