发明名称 一种DH-Ga<SUB>1</SUB>-<SUB>x</SUB>Al<SUB>x</SUB>AsLED液相外延材料的结构
摘要 本发明属于半导体光电子材料制备领域,涉及一种对DH-Ga<SUB>1-X</SUB>Al<SUB>X</SUB>AsLED液相外延材料结构的改进。它包括衬底(4)、限定层(3)、发光层(2)、窗口层(1),统一考虑发光效率和制管工艺成品率,发光效率高、液相外延工艺又能实现、还为后道制管工艺创造有利条件、保证了成品率。本发明生产的外延片结构表面光亮,凸状畸变明显变小,经超声打孔技术测量,其发光强度一般为10-12mcd/20mA,制管成品率达70%。
申请公布号 CN1141741C 申请公布日期 2004.03.10
申请号 CN00103908.3 申请日期 2000.02.29
申请人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明人 元金山;张富文;李向文
分类号 H01L33/00;H05B33/00;H01S5/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 长春科宇专利代理有限责任公司 代理人 梁爱荣
主权项 1、一种DH-Ga1-XAlXAsLED液相外延材料的结构,它包括衬底(4),其特征在于:在衬底(4)上首先液相外延限定层(3),其次外延发光层(2),最后外延窗口层(1),衬底(4)的厚度为:300-400μm、铝Al组份为:0、载流子浓度为:1×1019cm-3;限定层(3)的生长厚度为:10-15μm、铝Al组份为:0.70-0.77、载流子浓度为(1-2)×1018cm-3;发光层(2)的生长厚度为:1.0-2.0μm、铝Al组份为:0.40-0.44、载流子浓度为:(3-7)×1017cm-3;窗口层(1)生长厚度为:15-25μm、铝Al组份为:0.70-0.75、载流子浓度为:(0.7-1)×1018cm-3。
地址 130022吉林省长春市人民大街140号