| 发明名称 |
Ammoniakkfrie alkaliske mikroelektroniske rensesammensetninger med forbedret substratkompatibilitet |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NO20040068(A) |
申请公布日期 |
2004.03.09 |
| 申请号 |
NO20040000068 |
申请日期 |
2004.01.08 |
| 申请人 |
AVANTOR PERFORMANCE MATERIALS INC |
发明人 |
HSU CHIEN-PIN SHERMAN |
| 分类号 |
C11D3/26;C11D7/32;C11D3/00;C11D3/02;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/42;C11D3/43;C11D7/08;C11D7/26;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;C23G1/18;C23G1/20;C23G5/036;G03F7/42;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C11D7/32 |
主分类号 |
C11D3/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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