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发明名称 (B2) ;KISOFUTSUSOKAHOHO
摘要
申请公布号 JP3505328(B2) 申请公布日期 2004.03.08
申请号 JP19960292303 申请日期 1996.11.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/321;H01L21/66;H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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