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发明名称
ZUSAMMENSETZUNGEN UND VERFAHREN ZUM POLIEREN UND EGALISIEREN VON OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号
DE60008025(D1)
申请公布日期
2004.03.04
申请号
DE20006008025
申请日期
2000.11.15
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORP., AURORA
发明人
FANG, MINGMING;MUELLER, L.;DIRKSEN, A.
分类号
B24B57/02;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;G11B5/84;H01L21/304;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02
主分类号
B24B57/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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