发明名称 A process for the production of semi-conductor wafers
摘要
申请公布号 GB1015560(A) 申请公布日期 1966.01.05
申请号 GB19640022625 申请日期 1964.06.01
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 B28D5/00;H01L21/673 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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