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发明名称
POROUS DIELECTRIC FILMS WITH A NON-POROUS SURFACE
摘要
A low k porous dielectric film is described wherein the exposed surface or surfaces of the film are substantially non-porous. A densification method is described for treating such exposed surfaces to render porous surfaces non-porous.
申请公布号
WO03107411(A3)
申请公布日期
2004.03.04
申请号
WO2003GB02494
申请日期
2003.06.10
申请人
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED;BUCHANAN, KEITH, EDWARD;YEOH, JOON-CHAI
发明人
BUCHANAN, KEITH, EDWARD;YEOH, JOON-CHAI
分类号
H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
地址
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