GAS DISCHARGE LAMP

摘要

Die Erfindung betrifft eine Gasentladungslampe für den Wellenlängenbereich extremer Ultraviolettstrahlung und/oder weicher Röntgenstrahlung, mit mindestens zwei Elektroden zur Bereitstellung eines strahlungsemittierenden Plasmas im dazwischen befindlichen Entladungsraum, bei der eine der Elektroden eine durchgehende Öffnung zu einem angrenzenden Aussenbereich aufweist, wobei im Aussenbereich Ladungsträger erzeugbar sind welche über die Öffnung in den Entladungsraum transportierbar sind, und die dadurch gekennzeichnet ist, dass sich die Elektrodenöffnung in Richtung des Aussenbereichs verjüngt.