Integrierte Schaltungsanordnungen, insbesondere Kondensatoranordnungen, und zugehörige Herstellungsverfahren

摘要

Erläutert wird unter anderem eine integrierte Schaltungsanordnung (12), bei der die Dicke (D2a) einer Ätzstoppschicht (18a) so an den Ätzprozess angepasst ist, dass Kontaktlöcher (26, 28) unterschiedlicher Tiefe genau bis zu einer Deckelektrode (16a) und einer Bodenelektrode (10a) geätzt werden können.