| 发明名称 |
ZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUM EGALISIEREN VON OBERFLÄCHEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60008019(D1) |
申请公布日期 |
2004.03.04 |
| 申请号 |
DE20006008019 |
申请日期 |
2000.11.15 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORP., AURORA |
发明人 |
MUELLER, L.;DIRKSEN, A. |
| 分类号 |
B24B57/02;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B57/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
