用来获得用于加工操作、优化、监视和控制的数据的方法和设备

摘要

收集用来导出响应模型以及开发并保持加工过程和加工工具所需信息的数据。用于收集该数据的方法和设备包括一个比通常可能使用的方法能较少干扰和较少中断地收集数据的传感器设备(100)。可把该传感器设备装到加工工具中。该传感器设备的一实施例能从该加工工具内测量数据、存储数据和发送数据，该传感器设备具有近实时数据收集和通信能力。

主权项

1.一种用于为用来加工工件的加工工具导出操作特性的方法，该方法包括步骤：a)把一个带有各电子部件的传感器设备装到该加工工具中；b)利用该传感器设备测量该操作特性；c)利用该传感器设备把测到的操作特性转换成数字数据；d)至少进行下列之一的步骤：i.在该传感器设备中存储该数字数据，ii.把该数字数据发送到一接收器，以及iii.在该传感器设备中存储该数字数据并且把该数字数据发送到一接收器。