高传热效率的热汽喷墨打印头及其制造方法

摘要

一种高效热传输的热汽喷墨打印头，其加热电阻器由隔热介质墙分割的单晶硅区形成，单晶硅区的下表面为毛细管管壁的一部分，加热电阻的热量直接由单晶硅区流入毛细管的墨水。该打印头的制造以多孔硅加工为基础。主要包括：通过在HF溶液中的阳极氧化，将单晶硅中重掺杂的埋层转变成多孔硅；通过高温热氧化将多孔硅转变成氧化多孔硅；利用氧化多孔硅耐硅腐蚀液腐蚀的特性，用作硅各向异性化学腐蚀的停止层；利用氧化多孔硅易被缓冲HF溶液腐蚀的特性，选择腐蚀氧化多孔硅。

主权项

1.一种高效传热的热汽喷墨打印头，其特征是打印头的加热电阻器为单晶硅电阻器；所说单晶硅电阻器处于隔热介质墙分割开的单晶硅区中；所说单晶硅区的下表面为引导墨水流向喷嘴的毛细管管壁的一部分；所说毛细管包括毛细管侧壁和顶盖都由单晶硅形成。