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发明名称 POLYMERIZABLE COMPOSITION, POLYMER, RESIST, AND LITHOGRAPHY METHODS
摘要
申请公布号 AU2003250802(A1) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 AU20030250802 申请日期 2003.07.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KLAUS ELIAN
分类号 C08F30/08;G03F7/039;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075;C08F230/08 主分类号 C08F30/08
代理机构 代理人
主权项
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