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发明名称 Spectral ellipsometer
摘要
申请公布号 EP1202033(A3) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 EP20010125139 申请日期 2001.10.23
申请人 HORIBA, LTD. 发明人 OTSUKI, KUNIO;SAIJO, YUTAKA
分类号 G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21;G01N21/41;G02B5/04;G02B27/28;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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