发明名称 INDUCTIVE PLASMA PROCESSOR INCLUDING CURRENT SENSOR FOR PLASMA EXCITATION COIL
摘要
申请公布号 KR20040018344(A) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 KR20037012842 申请日期 2003.09.30
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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