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发明名称 MICROINTERFEROMETERS WITH PERFORMANCE OPTIMIZATION
摘要
申请公布号 EP1393014(A2) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 EP20020728608 申请日期 2002.03.29
申请人 GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION 发明人 DEGERTEKIN, FAHRETTIN, L.;KURFESS, THOMAS, ROLAND;KIM, BYUNGKI;RAZAVI, HOSEIN, ALI
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01B11/02;G01B11/14;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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