| 发明名称 |
Capping layer for extreme low dielectric constant films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1094506(A3) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
EP20000309117 |
申请日期 |
2000.10.17 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WEIDMAN, TIMOTHY;NAULT, MICHAEL P.;CHANG, JOSEPHINE J. |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/32;C23C16/40;C23C16/448;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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