| 发明名称 |
Relay lens used in an illumination system of a lithography system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1380871(A3) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
EP20030015468 |
申请日期 |
2003.07.09 |
| 申请人 |
ASMLHOLDING, N.V. |
发明人 |
RYZHIKOV, LEV;SMIRNOV, STANISLAV |
| 分类号 |
G02B13/00;G02B3/00;G02B9/00;G02B11/16;G02B13/14;G02B13/18;G02B13/22;G02B13/24;G02B17/08;G02B19/00;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G02B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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