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发明名称 HEATING SYSTEM AND METHOD FOR HEATING AN ATMOSPHERIC REACTOR
摘要
申请公布号 KR20040018352(A) 申请公布日期 2004.03.03
申请号 KR20037013355 申请日期 2003.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;C23C16/46;C30B25/10;C30B31/18;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/31 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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